MEMS压力传感器

时间:2022-06-28

1.在汽车工业中的应用MEMS压力传感器在汽车中的新应用是传动系统压力传感,其通常用于自动装置,但也用于新的双离合器传动系统。

德国制造商推出了一种MEMS解决方案,该解决方案使用油来保护硅膜的压力高达70 bar。

几年前,博世在MEMS压力传感器方面也发挥了巨大作用,当时使用多孔硅,带来了高度可靠的MEMS器件,这些器件已用于当前侧面安全气囊等应用。

2.应用于医疗市场压力传感器主要用作手术用的一次性低成本导管。

但它们也用于昂贵的设备,以感应持续气道正压通气(CPAC)机器中的压力和差动流量。

3.工业应用中的应用MEMS压力传感器的主要应用包括加热,通风和空调(HVAC),水位测量以及各种工业过程和控制应用。

例如,除了精确的高度测量之外,飞机还使用传感器来监控发动机,襟翼和其他部件。